深圳市倍测科技有限公司壹倍科技申请一种晶圆缺陷检测方法相关专利，提高了晶圆缺陷的检测精度

用户投稿 2025年08月21日 01:56:02 2 0

壹倍科技申请一种晶圆缺陷检测方法相关专利，提高了晶圆缺陷的检测精度

金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市壹倍科技有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及介质”的专利，公开号CN120031883A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体缺陷检测技术领域，尤其涉及一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及介质，通过获取晶圆多模态数据集，基于轻量级对齐方法，对晶圆多模态数据集进行空间对齐，生成目标晶圆多模态数据集，利用开放世界通配符方法为目标晶圆多模态数据集中的无标签晶圆数据制作伪标签，生成多个伪标签缺陷数据集，利用多个伪标签缺陷数据集对预设的监督模型进行预训练，并利用预设的微调算法对预训练后获得的初始检测模型进行模型微调，获得目标检测模型，进而将待测晶圆图像输入至目标检测模型中进行缺陷检测，以获得晶圆缺陷检测结果，从而使获得的目标检测模型能够学习到不同的晶圆缺陷特征，识别到未知的晶圆缺陷种类，提高了晶圆缺陷的检测精度。

天眼查资料显示，深圳市壹倍科技有限公司，成立于2020年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本188.9493万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市壹倍科技有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可17个。

本文源自金融界

宝企优品全球热链㉑丨壹倍科技：打破国外垄断局面重构行业质量标准

在全球半导体产业竞争日益白热化的今天，检测技术作为芯片制造的“质量守门人”，其战略价值愈发凸显。成立仅5年的深圳市壹倍科技有限公司（以下简称“壹倍科技”），凭借在Micro LED检测领域的技术突破，不仅打破了国外设备长期垄断的局面，更以“光学密码”助力行业重构质量标准。

深圳市倍测科技有限公司壹倍科技申请一种晶圆缺陷检测方法相关专利，提高了晶圆缺陷的检测精度

壹倍科技实验室。

壹倍科技总部位于宝安区，并先后在上海、厦门设立分部，拥有近5000平方米的现代化研发和生产基地。公司的核心团队由海内外知名高校和半导体设备企业高层次人才组成，具备半导体物理理论、材料表征分析、自研高端光学部件以及精密机电自动化等研发背景与系统工程产业化经验。目前公司员工近百人，专业研发人员占比近70%。公司自成立以来，获得多轮知名机构外部融资，并获得国家高新技术企业、深圳市专精特新等荣誉。

发布国内首套检测系统实现微米世界技术破壁

在Micro LED芯片制造中，仅1微米（1毫米的千分之一，头发丝的五十分之一）见方的芯粒犹如微观世界里的艺术品，其发光性能的检测精度直接决定显示屏的画质与成本。传统接触式检测方式因物理损伤风险，已难以满足微型化、巨量化的产业需求。壹倍科技聚焦行业痛点，自主研发的Micro PL（光致发光）检测技术，实现了“无接触、全光谱、超高速”三大技术突破。

2022年，壹倍科技正式发布国内首套Micro LED晶圆级巨量检测系统α-INSPEC M1000e，填补了高端光电显示行业前道晶圆检测国产供应商空白。该产品线自2022年推出以来，不断与全产业链客户合作，全面服务于Micro LED芯片的制造、转移、修复等关键工艺。

在旺盛的用户需求驱动下，壹倍科技PL检测系统已经由样机M1000e迭代至M1070p v3（第三代），推出了亮度波长并行检测、单wafer超亿级数据的适配、红光低EQE样品的检测适配、DBR样品的检测、RBG混合Chip检测、分/混BIN工艺的支持及效果模拟等专属解决方案，持续助力行业发展。其中，PL技术逐渐展示出了其在MicroLED混BIN方面的巨大应用潜力，有望在提升屏幕画质和降低芯片成本之间达到最佳平衡点，因而获得越来越多客户的关注。

目前，该设备已基本覆盖大陆地区Micro LED行业头部客户群，并于2024年10月实现了向台湾地区的首次出货。经过半年的充分验证，台湾客户也对壹倍科技产品各项性能给予充分肯定。

除了Micro PL检测技术，壹倍科技还针对下游客户在COC巨量转移段的高通量芯粒位置量测和缺陷检测需求，推出了相应的产品线。在硬件方面，与上游光学零部件厂商紧密合作，采用高NA、超大视野的线扫成像系统，确保了检测的视野范围和清晰度。在软件及算法方面，基于在产线实践过程中积累的巨量芯粒检测数据分析经验，不断改进算法效率，提高检测速度。

同时，壹倍科技自主开发系统误差整合分析和校准技术，在控制整体BOM成本的前提下，实现了亚微米级的全局位移量测精度。这一系列技术创新，使得壹倍科技在Micro LED检测领域形成全面的技术优势，为行业的规模化量产提供坚实的技术支撑。

壹倍科技检测设备交付仪式。

从国产替代到标准输出推动产业生态不断完善

凭借在检测技术领域的显著优势，壹倍科技在市场上取得了令人瞩目的成绩。截至目前，公司已为40多家客户完成打样工作，业务触角延伸至海内外120多家客户，基本触达该领域所有的头部厂商，包含LED芯片厂、巨量转移厂、面板厂、AR微显示模块制造厂等，检测的客户样本类型多达260余种，成功实现了与行业产业链的深度融合。

然而，在半导体检测设备这一关键领域，国产化进程仍面临诸多挑战，国产化率长期处于较低水平。在此背景下，壹倍科技积极探索“技术共研+生态共建”的创新模式，走出了一条独具特色的国产替代之路，为行业注入了新的活力。

在Micro LED这一前沿领域，随着其微型化发展，生产链路中的工艺控制和良率监控难题日益凸显。壹倍科技凭借自主研发的Micro PL检测技术，为这一难题提供了行之有效的解决方案，成为行业内公认的适用于量产的检测手段。

对于Micro LED生产企业而言，通过建立标准化综合测试能力，借助壹倍科技的检测技术，能够大幅减少后道工序的修补成本，显著提高产品总体良率，进而降低终端产品成本，有力推动整个产业的快速发展。目前，壹倍科技在Micro LED行业PL检测领域稳居领头羊地位，并已前瞻性地规划开发下一代Enhanced Micro PL检测技术，旨在更深入地解决规模化生产中的良率管理痛点，为产业升级提供坚实的技术支撑。

近年来，壹倍科技积极投身行业合作与标准制定，以实际行动推动产业生态的完善。公司先后与牵头单位厦门天马微电子有限公司、厦门市未来显示技术研究院联合申报福建省新型显示创新中心，为新型显示技术的研发与创新搭建了重要平台；与国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）携手撰写Micro LED技术路线白皮书，为行业发展指明了方向；参编《Micro LED显示屏光学性能技术规范-车载常规》规范标准，为行业标准化建设贡献了力量；与中国科学院深圳先进技术研究院开展合作研发项目，为产业链提供工艺优化决策支持，助力产业技术水平的提升。

从亚微米级检测精度的突破，到国内首套Micro LED晶圆级巨量检测系统的里程碑，再到检测数据赋能产业链的生态创新，壹倍科技以底层技术创新突破产业瓶颈，用生态思维重构价值网络，凭战略定力穿越周期波动。当Micro LED产业迎来2025年量产爬坡的关键节点，这家以“光学密码”破局的企业，正以不断突破工艺极限，重新定义全球半导体检测的竞争规则。

Micro LED PL巨量检测设备