华卓精科申请对准光路调整装置系统及方法专利，结构简单成本低
金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“对准光路调整装置、系统及方法”的专利，公开号CN120103681A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种对准光路调整装置、系统及方法，涉及光刻技术领域。该对准光路调整装置包括基座和光束质量分析仪，光束质量分析仪连接于基座且能够相对基座沿Z向移动，其中，基座用于连接光学模块的外壳，光束质量分析仪的显示屏与光学模块的出射孔相对应，用于接收经出射孔射出的出射光。该对准光路调整装置结构简单、成本低，操作便捷、调整精确度高，能够有效确保光学模块中进光光纤的入射光的准直程度满足要求，减少发散角光束的光斑变化干扰，相应提高光学模块及对准系统的对准精确度，进而提高光刻机的光刻产品良率。
天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25239万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息627条，此外企业还拥有行政许可94个。
本文源自金融界
北京华卓精科科技股份有限公司取得激光发生装置专利，合束信号持续时间更长，减小目标对象热积累峰值
金融界2025年5月13日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司取得一项名为“激光发生装置”的专利，授权公告号CN222851826U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型涉及光学系统技术领域，提供一种激光发生装置，包括第一脉冲发生器、第二脉冲发生器、多个激光器系统以及合束组件；第一脉冲发生器分别与每个激光器系统内的泵浦源连接；第二脉冲发生器分别与每个激光器系统内的光闸连接；合束组件用于将各激光器系统输出的激光信号进行合束，得到合束信号，合束信号中相邻激光信号之间部分重叠。由于包含多个激光器系统，可以产生多路激光信号，通过合束组件可以将多路激光信号进行合束，得到并输出合束信号。合束信号相比于单一的激光信号，覆盖范围更广，具有比较均匀的光斑，降低了对激光器的硬件和调试人员的水平的要求。而且，可以使合束信号持续时间更长，可以减小目标对象的热积累峰值。
天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本25239万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目77次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息623条，此外企业还拥有行政许可94个。
本文源自金融界
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